編者按

重大項目建設(shè)，是穩(wěn)定經(jīng)濟增長的“壓艙石”，更是培育新質(zhì)生產(chǎn)力、推動高質(zhì)量發(fā)展的“強引擎”。連日來，湖北日報全媒記者走進重大項目一線，看鼎龍光刻膠打破壟斷爬坡放量、黃石PCB搶抓AI窗口全速沖刺、南漳“超級充電寶”火熱建設(shè)……感受荊楚大地上涌動的發(fā)展熱潮與創(chuàng)新激情。

6月15日，在潛江市江漢鹽化工業(yè)園內(nèi)，湖北鼎龍控股股份有限公司年產(chǎn)300噸KrF/ArF高端晶圓光刻膠產(chǎn)業(yè)化項目現(xiàn)場一派繁忙，生產(chǎn)線高速運轉(zhuǎn)，一批批高端光刻膠產(chǎn)品有序下線，發(fā)往國內(nèi)頭部晶圓廠。自今年3月20日二期產(chǎn)線正式投產(chǎn)以來，項目穩(wěn)步爬坡，接連斬獲批量訂單。

8款高端晶圓光刻膠產(chǎn)品獲得批量訂單

如果把芯片制造比作在硅片上雕刻納米級城市，光刻機是雕刻機，那么光刻膠就是這座城市的“規(guī)劃藍圖”，它決定了雕刻精度、清晰度、完整性，是半導體制造中技術(shù)壁壘最高的材料之一。

長期以來，高端KrF、ArF光刻膠市場被日本信越化學、JSR等少數(shù)企業(yè)壟斷，國產(chǎn)化率僅在1%左右。此次落地潛江的年產(chǎn)300噸產(chǎn)線，是國內(nèi)首條打通“有機合成—高分子合成—精制純化—光刻膠混配”全流程的高端晶圓光刻膠量產(chǎn)線，可實現(xiàn)核心樹脂、高純度單體、光致產(chǎn)酸劑等關(guān)鍵原料自主制造，從源頭筑牢供應(yīng)鏈安全防線。

湖北鼎龍控股股份有限公司潛江園區(qū)。 (受訪單位供圖)

項目投產(chǎn)至今僅兩個多月，市場捷報頻傳。鼎龍股份6月12日發(fā)布的公告顯示，公司年產(chǎn)300噸KrF/ArF高端晶圓光刻膠產(chǎn)線自3月投產(chǎn)后，已向兩家頭部晶圓廠交付數(shù)百加侖浸沒式ArF及KrF光刻膠，客戶近期合計新增訂單近1000加侖。

截至公告日，公司已有8款高端晶圓光刻膠產(chǎn)品獲得批量訂單，較一季度末新增5款。“后續(xù)隨著產(chǎn)品持續(xù)穩(wěn)定運行，供貨份額還將穩(wěn)步提升，未來一兩年訂單放量具備較強確定性?！倍埞煞莨饪滩牧蠘I(yè)務(wù)總經(jīng)理劉敏透露。

除已獲訂單的8款產(chǎn)品外，還有超10款產(chǎn)品進入“加侖樣”測試階段——這是訂單轉(zhuǎn)化前的重要關(guān)口。隨著二期300噸產(chǎn)線產(chǎn)能持續(xù)釋放，鼎龍股份正穩(wěn)步擴大對國內(nèi)主流晶圓廠的供貨份額。

“短短4年時間，我們從零起步，到目前累計布局40余款產(chǎn)品，產(chǎn)品覆蓋國內(nèi)主流芯片制造制程。”2022年，當國內(nèi)面臨高端光刻膠可能被斷供的風險時，鼎龍股份毅然決定迎難而上，于當年5月正式啟動晶圓光刻膠項目。劉敏告訴湖北日報全媒記者，這份“鼎龍速度”的背后，是公司多年積累的平臺化優(yōu)勢——此前已在面板光刻膠、先進封裝光刻膠領(lǐng)域深耕，并在有機合成、高分子合成等七大技術(shù)平臺上擁有深厚積淀。劉敏表示，光刻膠的核心原材料樹脂與光酸，恰好能分別依托公司化學碳粉和有機合成的技術(shù)積累?！氨热绻饪棠z的樹脂，與我們做了20多年的化學碳粉材料同屬苯乙烯-丙烯酸酯體系，底層技術(shù)是相通的。”

用量產(chǎn)大廠打消客戶顧慮

湖北鼎龍控股股份有限公司生產(chǎn)的高端晶圓光刻膠產(chǎn)品。

從實驗室到客戶產(chǎn)線，光刻膠的驗證之路布滿荊棘?！斑@好比在飛機飛行中換引擎?！眲⒚舻莱隽藝a(chǎn)替代之路的艱辛。

芯片制造是數(shù)千道工序的連續(xù)運轉(zhuǎn)，更換光刻膠這樣的核心材料，差一納米都可能導致芯片報廢“機毀人亡”。海外企業(yè)做了三四十年才磨出的配方、工藝、品控體系，國內(nèi)企業(yè)必須用更嚴苛的標準去對齊。送小樣、加量測試、小批量跑貨……整個驗證周期順利的話要2年，不順利要3到5年。即便通過驗證，客戶從切出10%的訂單到逐步放量至100%，仍需以“月”為單位觀察穩(wěn)定性。

如何讓挑剔的晶圓廠敢于“第一個吃螃蟹”?鼎龍的策略是“給自己斷后路”——在研發(fā)階段便同步開建年產(chǎn)300噸的量產(chǎn)大廠。

今年3月，這座建筑面積近1.2萬平方米的產(chǎn)線正式投產(chǎn)，一期30噸產(chǎn)線也已穩(wěn)定運行。公司還建設(shè)了光刻膠配方生產(chǎn)線及配套原材料合成純化平臺，實現(xiàn)從核心單體、光酸、樹脂到成品光刻膠的全鏈條自主制造。

“只要路走對了，就不怕遠?！眲⒚籼寡?，光刻膠放量是個慢變量，從送樣到批量訂單至少需要兩年，目前潛江基地的產(chǎn)能爬坡正穩(wěn)步推進，2026年下半年交付量預計顯著提升。他說，鼎龍的目標是讓中國晶圓廠不再擔心“光刻膠斷供”，這才是國產(chǎn)材料企業(yè)最大的價值。

湖北日報全媒記者 王哲 通訊員 李雪婷

編輯：董滿